檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "績效".ckeyword (精準) and cdept.raw="自動化及控制研究所"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本文運用流程改善策略的三個方法,提出一套設備保養系統「三階段式績效評 估與改善的模式」。三個階段分別為: (1)建立設備保養績效評估指標、(2)績效衡量、 (3)績效分析與改善,經由這三階段,提…
2
在半導體的先進製程中,對準誤差量測技術(Overlay Metrology)為關鍵的製程步驟,準確地測量出積體電路層與層之間的對準誤差(Overlay),可以有效減少製程的重工率進而降低製程成本。D…